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レーザー干渉計(計測機) G102

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8.6倍ズーム付きで小物部品にも対応。

コンパクト、幅を取らない、簡単リモコン操作(フォーカス、光量調整、アライメント切替え、ズーム)

  • φ102mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
  • ズームレンズ内蔵により小口径被検体も測定可能。
  • コリメーターレンズ※を交換することにより最大φ150mmまでの被検体を測定可能。
  • リモートコントロールが付いており、アライメント切替、光量調整、ズーム調整、フォーカス調整が簡単に調整可能。

主な仕様

光源

He-Neレーザー(クラス1レーザー製品)

波長

632.8nm

形式

フィゾー型干渉方式

有効光束径

φ102mm
φ150mm

測定感度

λ/2(0.3μm/縞)

基準面精度

λ/20

拡大倍率

8.6倍ズームレンズ

寸法

約305×365×765mm

質量

約56kg

電源

AC100V 50/60Hz 2A

構成

G102(φ102) 平面測定システム

<標準構成品>
本体
防振台
液晶モニター
低反射基準板

<別売オプション製品>
高反射用基準板

G102(φ150)平面測定システム

<標準構成品>
本体
防振台
液晶モニター
低反射基準板

<別売オプション製品>
高反射用基準板

  • * 上記構成品のセット販売となります