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コンパクトレーザー干渉計(計測機) F601(平面測定)

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世界一のシェアを誇るコンパクトタイプ

コンパクトで独自のアライメント機構により反射光を素早く見つけられ、計測時間を短縮できます。

  • φ60mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
  • ビームコンプレッサ(2倍拡大レンズ)とセットで使用することにより、面積が小さい被検体(φ5mm~φ25mm程度)でも測定可能。
  • 反射率の低い(約0.1%)被検体を測定したい場合、超低反射測定用に改造可能。

主な仕様

光源

He-Neレーザー(クラス1レーザー製品)

波長

632.8nm

形式

フィゾー型干渉方式

有効光束径

φ60mm

測定感度

λ/2(0.3μm/縞)

基準面精度

λ/20

拡大倍率

×1

寸法

約300×320×590mm

質量

約30kg

電源

AC100V 50/60Hz 1A

構成

F601 平面測定システム

<標準構成品>
本体
平面標準スタンド
液晶モニター
低反射基準板

<別売オプション製品>
高反射用基準板

F601 平面測定長軸システム

<標準構成品>
本体
平面長軸スタンド
液晶モニター
低反射基準板

<別売オプション製品>
高反射用基準板

F601 平面超低反射システム

<標準構成品>
本体
平面標準スタンド
液晶モニター
超低反射基準板

  • * 上記構成品のセット販売となります