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溶剤

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レジストのエッジビード除去(EBR)、再加工、リンスおよびプリウェット用途の幅広い特殊な溶剤ブレンド。高度なリソグラフィプリウェット用途に対応した超高純度溶剤。

  • エッジリンス、エッジクリーン(EBR)
  • プリウェット
  • バックサイドリンス
  • カップリンス
  • ノズル洗浄