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ホーム ビジネスのお客さま 半導体材料 フォトレジスト KrF(248nm)
シリコンウェーハを持っている研究員

フォトレジスト

KrF(248nm) : 概要

幅広い用途を対象とするポジ型KrFフォトレジスト

GKRシリーズは高厚膜から高解像度品まで幅広いラインアップを揃え、お客さまのさまざまなニーズにおこたえします。

製品ラインアップ
  • Implant用途: GKR-46xx/32xxシリーズ
  • C/H用途: GKR-53xxシリーズ
  • L/S用途: GKR-63xxシリーズ