フォトレジスト KrF（248nm） NEW 幅広い用途を対象とするポジ型KrFフォトレジスト お問い合わせ Share 閉じる 概要 用途 GKRシリーズは、幅広い用途を対象とするポジ型KrF系フォトレジストです。 高アスペクト比用途 優れたプラズマエッチング耐性およびイオン注入耐性 高い熱安定性 プロセスウィンドウが広い 低欠陥レベル 長期間安定性 垂直プロファイル 幅広い厚さに対応
日本
日本