このウェブサイトはクッキーを使用しています。このサイトを使用することにより、プライバシーポリシーに同意したことになります。

日本
ホーム ビジネスのお客さま 半導体材料 CMPスラリー パッケージング用CMPスラリー
半導体のボード上で、ICチップが光っているイメージ画像。

パッケージング用CMPスラリー : 概要

富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズのパッケージング用CMPスラリーは、異種チップの集積や3Dパッケージングに用いられる先端パッケージング材料の研磨用に設計。

  • 複数のプラットフォームにより、異なる材料の組み合わせと研磨速度の選択性に対応。
  • 優れた選択性と調整可能な選択性。
  • 種々の金属に使え、腐食フリー。
製品ラインアップ
  • PSL2000C
    • エポキシモールド樹脂の研磨が必要なパッケージング用に設計。
    • 柔軟なプラットフォームにより、フィラー充填量と種類に幅広く対応が可能。
    • 銅(Cu)、スズ(Sn)、金(Au)に使用可能。
  • PSL2100C
    • ポリイミドを使用するパッケージング用に設計されたスラリー。
    • 高純度コロイダルシリカ使用により、取り扱い易く、低スクラッチを実現。
    • 銅(Cu)やスズ(Sn)に使用可能で、メタルの研磨速度を調整することが可能。
  • PSL2200C
    • BSPDN(Back Side Power Delivery Network)のバルクシリコン研磨用に設計され、ポリシリコン、SiGe、アモルファスシリコンにも使用可能。
    • シリコンの高研磨速度とパッドの長寿命化を実現。
    • パッドの着色汚れがなく、欠陥を低減。
    • 高い希釈倍率(高濃縮タイプ)
  • PSL2300C
    • 先端パッケージング用途、特にCuハイブリッドボンディング研磨用に設計。
    • バリアメタルとILDの高研磨速度の速度と選択性は調整可能。
    • 低欠陥で、平滑な表面仕上げを実現。
    • Cuリセスの管理・調整が可能。
    • ILD上部の丸みと段差を最小化。