製品の概要および詳細については、当社までお問い合わせください。
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- 効率的な粒子除去
- 優れた有機物洗浄性
- 金属配線の電気特性の維持に優れた腐食防止
- コストメリット - 濃縮クリーナーにより、POUでのコスト削減が可能
製品ラインアップ
- 銅用:CLEAN-100
- タングステン用:WCP-200
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銅用CMPスラリー
富士フイルムの銅用CMPスラリーは、銅のオーバーフィルを除去して、下層のダマシン配線を露出するように設計されています。
バリアメタル用CMPスラリー
富士フイルムのバリアメタル用CMPスラリーは、銅の除去ステップ後露出したバリアメタルを除去し、ウェーハ表面全体のすべての膜を平坦化するように設計されています。
コバルト用CMPスラリー
富士フイルムのコバルト用CMPスラリーは、高密度なコバルト配線研磨中にコバルトおよびバリア金属を研磨し、回路内のすべての膜を平坦化するように設計されています。
フロントエンド用CMPスラリー
富士フイルムのフロントエンド用CMPスラリーは、High-Kメタルゲート、高度な誘電体、3次元FinFETトランジスタ、およびコンタクト用などの高度なトランジスタ技術を利用するデバイス向けに設計されています。