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ポストCMPクリーナー

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富士フイルムのポストCMPクリーナーは、金属表面を保護しながら、粒子、微量金属および有機残留物を洗浄するように設計されています。

    • 効率的な粒子除去
    • 優れた有機物洗浄性
    • 金属配線の電気特性の維持に優れた腐食防止
    • コストメリット - 濃縮クリーナーにより、POUでのコスト削減が可能

製品ラインアップ

  • 銅用:CLEAN-100
  • タングステン用:WCP-200

製品の概要および詳細については、当社までお問い合わせください。