フロントエンド用CMPスラリー : 用途

富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの先端フロントエンドCMPスラリーは、デバイス製造の重要な初期段階での使用を想定して設計されており、制御された方法で材料を除去し、量産以降のステップに理想的な表面を提供します。