Các cookie rất quan trọng để một trang web hoạt động hiệu quả. Để nâng cao trải nghiệm của bạn, chúng tôi sử dụng các cookie để ghi nhớ chi tiết đăng nhập và cung cấp đăng nhập an toàn, thu thập số liệu thống kê để tối ưu hóa chức năng của trang web và cung cấp các nội dung phù hợp với sở thích của bạn. Bằng cách tiếp tục sử dụng trang web này, bạn cho phép chúng tôi làm điều đó. Để biết thêm thông tin chi tiết, vui lòng tham khảo Chính sách Bảo mật của chúng tôi.

Việt Nam
Trang chủ Về chúng tôi Nghiên cứu & Phát triển Công nghệ Công nghệ Cốt lõi Công nghệ MEMS

Công nghệ Cốt lõi

Công nghệ MEMS

Thiết kế và tạo mẫu thiết bị sử dụng phim áp điện độc đáo của FUJIFILM

Hiểu biết chuyên sâu của Fujifilm về công nghệ lắng đọng vật liệu áp điện, cũng như dây truyền tạo mẫu thiết bị nhanh chóng, cho phép chúng tôi nhanh chóng thiết kế, xây dựng và thử nghiệm các thiết bị MEMS đáp ứng nhu cầu của bạn

Ưu điểm vật liệu áp điện của FUJIFILM
  • Đặc tính tuyến tính đáp ứng dịch chuyển tốt
  • Không cần quá trình đánh bóng
    Thiết bị hoàn thiện có thể được vận hành ngay lập tức. Ngay cả khi được đun nóng cao hơn nhiệt độ Curie, mực độ đáp ứng của thiết bị vẫn không thay đổi.
  • Độ đồng nhất cao trên toàn bộ một tấm wafer và giữa các tấm wafer

Phim áp điện trên wafer 8 inch

Hằng số điện môi cao và Độ bền tuyệt vời
Biểu đồ so sánh các hệ số áp điện: PZT pha Nb của Fujifilm, PZT được phun của Công ty A, PZT được phun của Công ty B và PZT với phương pháp sol gel của Công ty C. PZT của Fujifilm có hệ số áp điện d31 là 220, giá trị cao nhất so với Công ty A, B, và C.
Biểu đồ này hiển thị sự thay đổi về lượng dịch chuyển liên quan đến số lượng nhịp. Nó cho thấy rằng không có sự suy giảm về độ dịch chuyển ngay cả sau 1011 nhịp.
Phim PZT pha Nb độc quyền của FUJIFILM (đã được cấp bằng sáng chế)
Những hình ảnh này cho thấy cấu trúc tinh thể của PZT pha Nb, hình ảnh SEM mặt cắt ngang của các sản phẩm khối thông thường và màng mỏng của Fujifilm, cùng với sơ đồ hướng phân cực. PZT pha Nb có niobi được đưa vào giữa mạng tinh thể thay vì zirconi hoặc titan. Không giống như các sản phẩm khối, cấu trúc màng mỏng của chúng tôi bao gồm các cột tinh thể kéo dài theo hướng độ dày lớp phủ, với hướng phân cực được căn chỉnh theo cùng một hướng.